● 초 극소량 열식 유량 센서를 채용해, 고정밀, 고해상도, 넓은 측정 범위의 기체 질량 유량 측정을 저가격으로 실현했습니다.
● 순간/적산 유량 표시, 아날로그 출력, 적산 펄스 출력 등 많은 기능을 탑재하고 있습니다.
코드 | 3-313-470 | 3-313-471 |
형식 | CMS0020VSRN200000 | CMS0050BTTH200100 |
대응가스 | 공기, 질소, 아르곤, 탄산가스 ,도시가스13A, 메탄, 프로판, 부탄 100 % | 수소, 헬륨 |
유량범위※ | 0~20L/min 최소표시:0.1L/min | 0~50L/min, 최소표시:0.1L/min |
계량정밀도 | 0.2~2L/min미만, ±1%FS±1dgt 2~20L/min ±3%RD±1dgt | 0.5~10L/min미만, ±1%FS±1dgt 10~50L/min, ±5%RD±1dgt |
사용조건 | -0.07~1.0MPa, -10~60°C, 10~90%RH |
접속형식 | Rc1/4 |
전원접속 | 전용 커넥터포함 하네스( 별매: 옵션 참조) 등 |
크기 | 91×37×69.1mm 약800g |
※ 유량 범위 : 20℃ · 1 기압의 공기 사용 시 유량
※ MassFlow 메터의 사용은 아래 옵션 제품 중 하나가 필요합니다
[옵션]
3-313-472 전용커넥터 포함 하네스(2m)
컨트롤러에 전원공급, 외부기기와의 접속에 사용합니다.
(범용DC24V전원을 사용해주세요)
3-313-473 AC어댑터+AC어댑터 접속 하네스
콘센트로 전원공급 할 때 사용합니다.
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