● 고정밀도 · 고속 응답을 실현한 MassFlow제어기입니다.
● 멀티범위, 멀티가스 기능 탑재에 의해, 전용 소프트웨어를 사용하여 MassFlow제어기의 유량 범위, 사용 가스를 변경할 수 있습니다.
코드 | 3-313-620 | 3-313-621 |
형식 | SEC-N112MGR(W) | SEC-N112MGM(W) |
풀 스케일 유량 | 하기 「멀티범위 ,멀티가스, 풀스케일 유량 예 "참조 |
밸브 형식 | 전기가 통하지 않을 시 닫힘 |
유량제어범위 | 풀 스케일의 2~100% |
유량정밀도 | ±1.0%SP (설정 유량>30%FS) ±0.3%FS (설정 유량≦30%FS) |
응답성 | 1초 이내 |
사용환경 | 온도: 5~50℃, 사용압력 : 300kPa이하(내압 1000kPa) |
접속가스부 재질 | SUS316L, PTFE 자성 스테인레스, 바이톤 | SUS316L, PTFE, 자성스테인레스 |
연결 | 1/4VCR 상당, 1/4 스웨지 록 상당 |
크기 | 약106×38×126mm |
[멀티 범위, 멀티 가스, 풀 스케일 유량 예]※ 단위: SCCM
가스부/ MR·MG번호 | N₂ | Ar | H₂ | He |
R01 | 3~10 | 4~11 | - | 4~12 |
01 | 10~30 | 11~5 | 8~30 | 10~38 |
02 | 25~100 | 35~110 | 25~00 | 33~120 |
03 | 75~300 | 110~350 | 75~00 | 99~80 |
04 | 250~1000 | 350~1100 | 250~1000 | 330~1300 |
05 | 750~3000 | 1100~3500 | 750~3000 | 1100~4100 |
06 | 2500~10000 | 3500~11000 | 2500~10000 | 3900~13000 |
※ 상기는 풀 스케일의 설정폭을 표시합니다. 유량 범위는, 설정한 풀 스케일의 2%~100%로 됩니다.
[옵션]
3-313-622 통신변환기 4WSD9R
3-313-623 변환어댑터 CA-에9거45
3-313-624 통신LAN케이블 LD-MCTF/SV2
3-313-625 신호케이블 SC-EDH-1M
3-313-418 제어장치 PE-D20
* 주문방법
코드를 설정 후, 아래 사항을 합쳐서 설정하여 연락해주세요.
지정 방법: 코드 -①-②-③-④-⑤
① 멀티범위, 멀티가스(MR·MG)번호
위에 “ 멀티범위,멀티가스, 풀 스케일 유량 예”에서 MR·MG번호를 지정하세요.
② 풀 스케일 유량
풀 스케일유량을 지정하세요.
(전용 소프트웨어에서 변환 가능)
③ 배관연결
(1) 1/4VCR상당 (2) 1/4스웨지 록 상당에서 선택 해주세요.
④ 면적 간 거리
③번에서 (1)을 선택한 경우, 106mm·124mm중 하나를 선택해주세요 ( (2)의 경우는 127mm)
⑤ 사용가스종류
가스 (접속 가스 부를 부식하지 않는 것)를 지정 하세요.
(전용 소프트웨어에서 변환 가능)
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