● 컴팩트, 저비용의 MassFlow 제어기입니다. ● 대학 · 연구소의 연구 개발 용도에서 각종 분석기기, 진공 장비의 표준 채용 기종으로서 많은 실적을 가지 고 있습니다. ● 개량형 정전류 온도차 검출 방식의 유량 센서를 탑재해, 고속 응답을 실현했습니다. ● 안전 방향 동작의 노멀 클로즈 밸브를 채용했습니다. * 주문방법 유량범위에 따라 코드를 지정한 후, 하기 사항도 합쳐 선정 후 연락주세요. 지정방법: 코드-①-②-③-④ ① 연결 : 1/4 F9000 (표준), 1/8 F900, 1/4UJR, Rc1/4 (옵션) ② 유체 : 접속가스 부 재질을 부식하지 않는 가스를 지정해주세요. ③ 유량 : 최대유량을 지정하세요. ④ 옵션 : 접속 가스 부 재질에 네오플렌NBR을 희망하는 경우는 지정해주세요. ※ MassFlow 제어기 가격은 표준제작품에 대한것이므로, 세부사양에 따라 가격이 변할 수 있습니다. ※ 본제품은 수주생산품이므로, 주문 후 취소, 반품은 받지 않으므로 주의바랍니다. 코드 | 3-313-450 | 3-313-451 | 3-313-452 | 유량범위 (N₂환산) | 50~500SCCM | 1~5SLM | 10~20SLM | 제어범위 | 2~100% FS | 응답성 | 0~100%응답2sec이하(within±2%, typical) | 정밀도 | ±1.5%FS이내(20°C 시) | 반복성 | ±0.5%FS이내(20°C 시) | 내압 | 980kPa | 사용온도 | 5~45°C(정밀도 보증: 15~35°C) | 가스부 재질 | 바디: SUS316 밸브시트,씰재질: 바이톤(옵션에서 네오플렌도 가능) | 접속구경 | 표준:1/4F900(옵션:1/8F900,1/4UJR,Rc1/4,기타) | 소요전원 | DC+15V(±5%) 100mA~DC-15V(±5%)200mA | 크기 | 약127×32×100mm(1/4F900선택 시) |
[옵션] 3-313-515 리드아웃 장치 CR-300 MassFlow 컨트롤러와 접속하는 것으로 유량 계측, 제어등 기본기능이 사용할 수 있도록 되어있는 장치입니다. 3-313-516 전원 케이블 CP-STD101M, 리드아웃 장치용 전원케이블입니다. MassFlow 제어기능 | 유량설정, 제로커트, 밸브강제개폐 | 표시정밀도 | ±0.1%이내(±2dgt이내) | 전원 | AC100V | 크기 | 73×119.5×73mm, 350g |
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