3-312-424 SEC-B40
3-312-425 SEC-B50
● 유량 센서, 컨트롤 밸브, 제어 회로로 구성된 정밀 유량 제어 장치입니다.
● 저가격이면서 충분한 기능을 제공합니다
형식 | SEC-B40 | SEC-B50 |
가스※ | AIR, O₂,N₂,Ar,H₂,He, LPG, C₂H₂ |
밸브형식 | 전기가 통하지 않을 때 개폐 |
표준유량범위※ (N₂상당FS) | 100,200,300,500SCCM 1,2,3,5,10SLM (LPG,C₂H₂는2SLM까지) | 10/20/30/50/60SLM (LPG,C₂H₂는5/10/15SLM) |
유량제어범위 | 5~100% FS | 10~100% FS |
MDEKQ속도 | 1초이내(Typical) |
유량정밀도 | ±1% FS이내 | ±2% FS이내 |
반복재현성 | ±0.5% FS이내 |
동작차압 | 50~300kPa |
접속가스부 재질 | PPS수지, 바이톤, PTFE, 스테인레스 |
표준연결※ | 1/4, 1/8 스웨지락, Rc1/4 | 1/4, 3/8 스웨지락 Rc1/4 |
전원 | +15VDC±5% 50mA -15VDC±5% 150mA(B50: 200mA) |
크기 | 약131×32×126mm | 약173×35×134mm |
※ 주문 시 표준유량, 가스종류, 가스접속부를 지정해주세요.
※ 유량 컨트롤에는 전용접속과 소형표시,설정기 또는 제어장치와 접속코드가 필요합니다.
[옵션]
3-312-410 전용전원 PAC-1I(1대용)
3-312-413 소형표시, 설정기 DS-3
3-312-418 제어장치 PE-D20, MassFlow컨트롤러에 필요한 전원, 표시, 설정부를 모두 내장하고 있습니다.
3-312-415 접속 코드 1m
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